En Español: E SC 212 - Undergraduate Level Course - Classroom Presentations (Materiales Para Estudios Postsecundarios)

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E SC 211 / 212 / 213 / 214 / 215 / 216

E SC 212:  Procesos Básicos de la Nanotecnología



Unidad

Conferencia PowerPoint & PDF

Contenido
Unidad 1 - Una Introducción a Procesos en Nanotecnología
Conferencia 1 - Procesos de Nanofabricación PPT
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Visión general de la nanofabricación de arriba hacia abajo (“top-down”), de abajo hacia arriba (“bottom-up”) y híbrida.
Unidad 2 - Una introducción a los Usos de Plasma en los Procesos
Conferencia 1 - Fundamentos de Plasma

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Definiciones de plasma y cómo se hacen los plasmas. Discusión de los procesos de plasma: procesos aditivos y sustractivos.
Conferencia 2 - Procesos Aditivos y Pulverización

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Pulverización catódica como un proceso aditivo, ejemplos de sistemas y aplicación de procesos.
Conferencia 3 - Los Plasmas y la Deposición

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Procesos aditivos de plasma incluyendo Deposición Química de Vapor Mejorada por Plasma (PECVD), Deposición de Capa Atómica Mejorada por Plasma (PEALD) y aplicaciones de PECVD y PEALD.
Conferencia 4 - Procesos Sustractivos y Grabado

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Procesos sustractivos incluyendo limpieza asistida por plasma y grabado seco
Conferencia 5 - Grabado Iónico Reactivo (RIE)

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Análisis del Grabado Iónico Reactivo (RIE) incluyendo control del perfil y selectividad de grabado. Ejemplos de fabricación de nanoestructuras utilizando RIE.
Unidad 3 - Introducción al Grabado Húmedo
Conferencia 1 - Grabado Húmedo PPT
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Definiciones y terminología de métodos de grabado húmedo. Revisión de grabado isotrópico y anisotrópico.
Unidad 4 - Introducción a la Transferencia de Patrones
Conferencia 1 - Transferencia de Patrones y Técnicas de Litografía PPT
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Introducción a la transferencia de patrones incluyendo litografía de contacto, litografía Dip-Pen (DPN)  litografía de estampado (impresión de micro-contacto), litografía de impresión y desarrollo y transferencia de patrones utilizando copolímeros de bloque.
Unidad 5 - Deposición Química de Vapor
Conferencia 1 - Sistemas/Equipos Típicos de LPCVD y Aplicaciones de Arriba Hacia Abajo (“Top-Down”) y de Abajo Hacia Arriba (“Bottom-Up”) PPT
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Sistemas típicos de LPCVD, aplicaciones de fabricación de arriba hacia abajo (top-down),materiales 2D (películas delgadas, crecimiento VS). Aplicaciones de fabricación de abajo hacia arriba (bottom up) y materiales 1D (nanoalambres, crecimiento VLS ).
Unidad 6 - Deposición Física
Conferencia 1 - Deposición Física de Vapor PPT
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Visión general de deposición física incluyendo evaporación termal y con cañón de electrones (e-gun), pulverización catódica y ablación de laser.
Unidad 7 - Sistemas Avanzados de Grabado
Conferencia 1 - Las Herramientas para los Procesos de Grabado con Plasma PPT
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Sistemas de grabado y sistemas clúster.